Sentaurus TCAD 2012 SP2 G-2012.06 SP2 на VMWare

Synopsys Sentaurus TCAD - профессиональный софт для моделирования полупроводниковых приборов и создания техпроцессов их изготовления. Sentaurus TCAD позволяет создавать конструкцию микро- и нано- электронных приборов, наподобие транзисторов, путем разработки технологических процессов их изготовления.

Можно задавать топологию устройства, создавать отдельные этапы его производства - выращивание окислов SiO2 и других, более современных силицидов, нанесение поликремния и нитрида кремния, ионную имплантацию и диффузию примесей, создание гетероструктур, отжиг, нанесение металлизации, травление, фотолитография и т.д. Потом созданный процесс можно промоделировать и увидеть постепенное формирование необходимой структуры устройства (например, транзистора). Можно создать необходимую структуру в редакторе, задав реальные профили распределения примесей для разных областей. Далее можно с помощью моделирования определить концентрацию любой примеси и материала, а также распределения заряда, потенциала и электрического поля, концентраций подвижных носителей заряда и т.д. в любой точке полученной структуры, рассчитать паразитные емкости/индуктивности, провести анализ для постоянного и малого переменного сигнала. Результаты красиво выводятся в виде графиков и 3D моделей. Также можно получить вольт-амперные характеристики разработанного устройства и синтезировать его SPICE модель для последующей симуляции на более высоком уровне, нежели метод конечных элементов. Возможен импорт и экспорт топологии разработанных устройств в формате GDS II для использования в программах проектирования микросхем.

Также архив содержит библиотеку Applications Library с примерами моделей различных полупроводниковых приборов (диодов, тиристоров, биполярных и полевых транзисторов, в т.ч. FinFET, свето- и лазерных диодов, фотоэлементов, оптических сенсоров).

Доп. информация: